石英玻璃的結構十分松弛，甚至在高溫下還允許某些氣體的離子通過網絡進行擴散，其中以鈉離子的擴散為最快。石英玻璃的這一性能對于使用者尤為重要，例如，半導體工業用石英玻璃作為高溫容器或擴散管時，由于半導體材料要求很高的純度，所以要求與石英玻璃接觸的作為爐襯的耐火材料必須預先經過高溫和清潔處理，除掉鉀、鈉等堿性雜質，然后才能放入石英玻璃內使用。各種離子在石英玻璃中的擴散系數見表3

表3 各種離子在石英玻璃中的擴散系數

                透明石英玻璃 合成石英玻璃

Na+             2×10-4         5×10-5

Ca2+           2×10-8

Al3+             <10-12         <10-12

Ag+             10-5             10-7

注：

1.在1100℃下的擴散系數

2.單位：厘米2/秒